测量元素范围：13-92号元素

激发电压：3-50kv，连续可调

探测器类型：SDD探测器

分辨率：125eV

系统预热时间：无需预热

准直器：圆形：0.1、0.2、0.3

图像放大倍数：40倍光学

次级滤波器：1次

测量能力：SDD探测器，0.3mm准直器测量稳定性与准确性小于5%